设备小身份TEL CERTAS 是东京电子（TEL）的经典刻蚀机，专门用于半导体晶圆的干法刻蚀工序～二手设备保留了核心刻蚀性能，很适合中小晶圆厂或研发实验室，性价比超赞哦😉核心参数速递

适用晶圆：支持 8 英寸晶圆，兼容硅、氧化硅等常见衬底刻蚀精度：线宽控制误差≤±2%，能实现微米级精细图案刻蚀反应腔：单晶圆处理式，腔体洁净度高，交叉污染率低气体控制：支持 4 路工艺气体精准配比，流量控制精度 ±1%

拿手本领刻蚀均匀性超棒，晶圆表面不同区域的刻蚀深度差能控制在 3% 以内～二手设备经过校准后，工艺重复性依然稳定，用来做中小规模生产或工艺验证超合适✨二手小优势价格比新机低 50% 以上，核心部件（射频电源、气体阀组）寿命还很长。入手时记得检查反应腔内壁磨损情况和真空系统密封性哦～对于想控制成本又要保证刻蚀质量的小伙伴来说，超值得考虑！

#刻蚀机##